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POLOS系列沖洗甩干機

簡要描述:

POLOS系列沖洗甩干機濕法刻蝕又稱為濕化學刻蝕法。它主要是借助刻蝕劑與待刻材料之間的化學反應將待刻膜層溶解,以達到刻蝕的目的。濕法刻蝕一般被用于工藝流程前面的晶圓片準備、清洗等不涉及圖形的環節

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OLOS系列沖洗甩干機

適用工藝(包括但不限于下述濕法制程)

  光刻膠顯影

   SU8厚膠顯影

   顯影后清洗

   光刻機去除

   刻蝕微刻蝕處理

OLOS系列沖洗甩干機

系統參數表

 

POLOS 200 Advanced

POLOS 300 Advanced

POLOS 450 Advanced

   程序段數:

無限制

無限制

無限制

   操作步數:

無限制

無限制

無限制

   旋轉速度

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-1500rpm ±1rpm  steps

   旋轉精度

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

   旋轉方向:

順時針、逆時針、交換擺動

順時針,逆時針、交換擺動

順時針,逆時針、交換擺動

   zui大加速度

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

1500rpm時取決于負載

   旋轉時間

無限制*, ± 0.1S steps

無限制*, ± 0.1S steps

 

   基片范圍:

260mm 直徑or  6? 方片

360mm 直徑or  8? 方片

460 mm直徑or350mm方片

   腔體直徑

302 mm

402 mm

502mm

   外形尺寸

OLOS系列沖洗甩干機

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